Oxidkeramik-Targets bieten für die Beschichtungsindustrie sehr interessante Eigenschaften mit attraktivem Zukunftspotenzial. Da sie von Natur aus elektrische Nichtleiter sind, ist der Einsatzbereich für mögliche Anwendungen erheblich eingeschränkt. Allerdings erlaubt die chemische und physikalische Struktur von Oxidkeramiken durch Diffusionsprozesse oder chemische Reaktionen, die elektrische Leitfähigkeit in einem breiten Feld gezielt zu beeinflussen.
Durch die innovative Entwicklung und Forschung in unserem Haus wird inzwischen eine ganze Reihe von Suboxidkeramik-Targets hergestellt, wie z. B. Tantalsuboxid, Aluminiumsuboxid, Titansuboxid oder Niobsuboxid. Diese eröffnen dem Kunden aufgrund ihrer einzigartigen Struktur weitere Möglichkeiten in der Anwendung.
