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Targets

 

Materialtyp des
Sputter-Targets
Planar Target Rohrtarget Beispiele
Standard-Metalle

Al, Cu, Ti ...

Legierungen

Al/Si, Ti/Al ...

Edelmetalle

 

Au, Pt, Ag ...

seltene Erden

 

Ce, Er, Tb ...

Oxidkeramiken

Al2O3, AZO, ITO ...

Nichtoxidkeramiken

 

B4C, TiB2, LaB6 ...

Sonderwerkstoffe   B, Ge, Si ...

 

Wir liefern planare Targets und Rohr-Targets, monolithisch und gebondet für PVD-Sputter-Anlagen.