Mit einem Prüfkopf, der Ultraschall in Frequenzen 0,2 bis 50 Mhz aussendet und empfängt, wird die zu prüfende Oberfläche des Sputter-Targets automatisch abgescannt. Der Schall durchläuft das Target und das Schallecho von der Grenzfläche, Target - Bondschicht, wird auf einem Display angezeigt. Unterschiede in der Benetzung, Lot - Target, werden in unterschiedlichen Farben dargestellt.
Um eine sichere und zuverlässige Messung zu erreichen, wird das Target in Wasser getaucht. Damit ist eine gewisse Begrenzung auf Targetwerkstoffe vorgegeben, die problemlos in Wasser getaucht werden können.
Mit unserem Ultraschall-Prüfgerät können wir Targets bis zu einer Länge von 620mm prüfen.
