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Oxidkeramiken

Werkstoff
Sputtertarget
planar gebondet Rohr gebondet
chem.
Formel
Reinheit
%
Dichte
g/cm³
Schmelzp.
°C
molare Masse
g/mol
Aluminumoxid   Al2O3 99 3,94 2045 101,96
Boroxid   B2O3 99,9 2,46 450 69,62
Ceroxid   CeO2 99,9 7,13 2600 172,11
Hafniumoxid   HfO2 99,9 9,68 2774 210,49
Indiumzinnoxid (ITO)   In2O3/Sn2O3 99,99 7,18 850 **
Magnesiumoxid   MgO 99,95 3,58 2852 40,3
Nioboxid Nb2O3 99,9 4,6 1520 265,8
Scandiumoxid   Sc2O3 99,9 3,86 2485 137,9
Siliziumoxid   SiO2 99,9 2,08 1710 60,08
Vanadiumoxid   V2O5 99,9 3,357 690 181,88
Yttriumoxid   Y2O3 99,9 5,01 2410 225,8
Zinkoxid ZnO 99,99 5,61 1975 81,39
Zinkoxid/Al2O3 (AZO) ZnO/Al2O3 99,99 ** ** **
Zinnoxid   Sn2O3 99,9 6,95 1630 150,71
Zirkonoxid   ZrO2 99,5 5,89 2700 123,22

* Sputtertarget-Abmessungen nach Ihren Wünschen und Zeichnungen.
** Werte sind abhängig von der Zusammensetzung.

Die Abmessungen und die geometrische Ausführung sollten im Vorfeld gemeinsam festgelegt werden.