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Nichtoxidkeramiken

Werkstoff
Sputtertarget
planar gebondet chemische Formel Reinheit
%
Dichte
g/cm³
Schmelzpunk
°C
molare Masse
g/mol
Borcarbid B4C 99,9 2,52 2350 55,2
Lanthanborid LaB6 99,9 2,61 2210 203,76
Molybdänsilizid MoSi2 99,9 6,31 1920 152,1
Molybdänsulfid MoS2 99,9 5,06 450 160
Siliziumcarbid SiC 99,9 3,16 2700 40,1
Siliziumnitrid Si3N4 99 3,2 1900 140,24
Titanborid TiB2 99,9 4,38 3225 69,48
Titancarbid TiC 99,5 4,93 3140 59,88
Titannitrid TiN 99,5 5,22 2950 81,88
Titansilizid TiSi2 99,9 4,39 1540 105,04
Wolframcarbid WC 99,9 15,63 2800 195,85
Zirkonborid ZrB2 99,5 6,09 3000 112,84

* Sputtertarget-Abmessungen nach Ihren Wünschen und Zeichnungen.

Die Abmessungen und die geometrische Ausführung sollten im Vorfeld gemeinsam festgelegt werden.