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Elektrisch leitfähiges Tantalpentoxid-Target Ta2O5

 

Im Rahmen eines Forschungsprogramms wurden in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Institut IST elektrisch leitfähige Tantalpentoxid-Sputtertargets (Ta2O5) entwickelt für das DC-Sputtering.

 

Das Forschungsprogramm wurde vom BMWi gefördert.

 

Die Sputtertargets werden in planarer Form und als Rohrtargets hergestellt.

 

Verfügbare Abmessungen

Planare Sputtertargets nach Kundenwunsch
Rohrtargets Innendurchmesser z.B. 133, Außendurchmesser z.B: 150
Segmentlänge

270mm

 

Eigenschaften

Reinheit 99,95%
Dichte 97%
Spez. Elektr. Widerst. 12 Ωm
Brechungsindex (525mm) 2,17
Transmission (525mm) 97%